[发明专利]谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法

摘要

一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法属于光电探测器领域。方法步骤如下：选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到没有谐振腔时探测器腔体内的光吸收率；用同样的方法计算谐振腔增强的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。本发明制备出的反射镜可以应用在远红外波段，并可以通过MBE生长，生长质量得到保证，使得探测器腔体内的光吸收率大大增强，从而提高了探测器的量子效率。

主权项

1、一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法，其特征在于方法步骤如下：(1)选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；(2)根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到探测器腔体内的光吸收率；(3)用与步骤(2)同样的方法计算有反射镜时的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；(4)根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。