[发明专利]喷墨头和喷墨头的制造方法无效
| 申请号： | 02152768.7 | 申请日： | 2002-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1421318A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 德永博之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 上述的课题是喷墨头的制造方法，所述喷墨头是完整的多气泡喷墨的低成本化，通过具有以下步骤的喷墨头制造方法而实现。在基板上设置喷墨压力产生元件，在与喷墨压力产生元件相向的盘侧配置喷出口，使油墨内产生气泡，从该喷出口喷出油墨，其特征在于在陶瓷基板上形成油墨供给口的贯通孔的步骤、在该贯通孔内熔融填充无机物的步骤、使填充了无机物的基板的贯通孔部平坦化的步骤、在贯通孔部分被平坦化的基板表面上层叠高热传导材料层的层叠步骤、在该高热传导材料层上形成所述喷墨压力产生元件的步骤、在有所述喷墨压力产生元件的基板上形成有喷出口的油墨喷出部分的步骤、和从有该油墨喷出部分的基板除去所述填充材料的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷墨头的制造方法，所述喷墨头是在基板上设置喷墨压力产生元件，在与喷墨压力产生元件相对的板侧设置喷出口，使油墨内部产生气泡，从该喷出口喷出油墨，其特征在于有以下步骤：在陶瓷基板上形成成为油墨供给口的贯通孔的步骤、在该贯通孔内熔融填充材料、填充的步骤、使被填充材料填充的基板的贯通孔部分平坦化的步骤、在贯通孔部分被平坦化的基板表面上层叠氮化硅膜的步骤、在该氮化硅膜上层叠高热传导材料层的步骤、在该高热传导材料层上形成所述喷墨压力发生元件的步骤、在具有所述喷墨压力产生元件的基板上形成具有喷出口的油墨喷出部分的步骤、和从有该油墨喷出部分的基板除去所述填充材料的步骤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02152768.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
