[发明专利]干燥洗涤物的装置和方法无效
| 申请号： | 02152961.2 | 申请日： | 2002-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1442881A | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 山口谦介;石川义则;潘毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社海上 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;F26B9/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张元忠,庞立志 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够在短时间内干燥洗净物，有效防止洗净物被污染，和防止能量损失的干燥洗涤物的装置和方法。用于干燥洗涤物的装置包括干燥罐20，该干燥罐上部有开口使得可以将洗涤物从上部放置或取出；和与该干燥罐形成一体的清洗罐30，该装置能够通过关闭可开关的盖子21而被密封。干燥罐20包括用于向洗涤物提供常温有机溶剂雾气M的雾气导直叶片22，使得洗涤物可被从雾气导直叶片22发射的有机溶剂雾气M干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 洗涤 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种干燥洗涤物的装置，包括：干燥罐，在其中产生有机溶剂雾气并提供到其中的洗涤物上；其中该干燥罐包括用于向该洗涤物提供有机溶剂雾气的雾气导直叶片。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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