[发明专利]透明导电膜、其形成方法与具有该透明导电膜的物品

摘要

本发明提供一种安全性高、生产性好、具有良好的光学及电特性、在塑料薄膜基材上的良好的临界曲率半径的透明导电膜的形成方法,采用该方法形成的透明导电膜与具有该透明导电膜的物品。所述形成方法包括如下步骤将反应性气体导入放电空间,通过在大气压或大气压附近的压力下放电,激发反应性气体成为等离子体状态,将基材暴露于前述等离子体状态的反应性气体中,在前述基材上形成透明导电膜,其中,前述反应性气体含有还原性气体。

主权项

1.透明导电膜形成方法，包括下述步骤：将反应性气体导入放电空间，通过在大气压或大气压附近的压力下放电，激发反应性气体成为等离子体状态，将基材暴露于前述等离子体状态的反应性气体，在前述基材上形成透明导电膜，其中，前述反应性气体含有还原性气体。