[发明专利]透明导电性薄膜及其制造方法和使用它的电发光元件无效
| 申请号： | 02153104.8 | 申请日： | 2002-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1503604A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 宫下武博;浅川幸纪;中岛明美;小山正人;牧野雅宪;铃木彰;冈田知 | 申请（专利权）人： | 三井化学株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/14 | 分类号： | H05B33/14;H05B33/28;H01B5/14;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人： | 徐川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是：使用用氮化铝相似被覆的荧光物质的发光层，抑制EL发光元件在高温高湿下连续发光时发光亮度的劣化。本发明的解决手段是：用以下透明导电性薄膜，作为使用用氮化铝相似被覆的荧光物质的发光层的EL发光元件的透明导电性薄膜，该透明导电性薄膜的特征在于，是在基板(A)的一方的主面上，在溅射气体中添加特定量的氧气和氢气的条件下，通过溅射法形成主要由铟原子、锡原子和氧原子构成的透明导电层(B)的透明导电性薄膜，将透明导电层(B)表面积的60％在28质量％氨水上被覆5小时的电阻变化率在5％以内。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电性 薄膜 及其 制造 方法 使用 发光 元件 | ||
【主权项】：
1.透明导电性薄膜，其特征在于，是在基板(A)的一方的主面上形成至少主要由铟原子、锡原子和氧原子构成的透明导电层(B)的透明导电性薄膜，将该透明导电层(B)表面积的60％以上70％以下在28重量％氨水上被覆5小时的电阻变化率在5％以内。
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