[发明专利]元件运送装置及元件运送方法无效
申请号: | 02153628.7 | 申请日: | 2002-11-27 |
公开(公告)号: | CN1487562A | 公开(公告)日: | 2004-04-07 |
发明(设计)人: | 平川文广 | 申请(专利权)人: | 东京威尔斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;B65G49/07 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 沙捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及元件运送装置及元件运送方法,所述装置具有:分割薄型基板、制成长方形工件(3),并整列运送该工件(3)的运送路径(20);使前述工件分离、运送的运送台(30);具有作为收容前述工件的多个收容部的料斗的收容台(32);设在前述运送台(30)上、将由前述运送路径(20)运送的工件(3)转载到前述运送台(30)上运送的同时,转载到前述收容台(32)的收容部上的转载机构(31);以及设在前述运送台(30)上、由传感器(49)判断运送途中的工件好坏,把不良工件收容在不良工件收容部(50)内的不良工件收容部件。 | ||
搜索关键词: | 元件 运送 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种工件运送收容装置,在把薄型基板分割成长方形工件,并将该长方形工件运送收容的工件运送收容装置中,其特征为,具有:整列运送所述长方形工件的运送路径,将所述长方形工件分离、运送的运送台,具有收容所述长方形工件的多个收容部的收容台,设在所述运送台上、判断运送途中的工件好坏的好坏判断部件,设在所述运送台上、将由所述运送路径运送的长方形工件转载到所述运送台上进行运送的同时,将由所述工件好坏判断部件判定为好的工件转载到所述收容台的收容部的转载机构,以及将由所述工件好坏判断部件判定的不良工件收容在不良工件收容部内的不良工件收容部件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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