[发明专利]用于生产有机发光二极管器件将多个掩模段对准以提供组装的掩模有效

专利信息
申请号: 02154095.0 申请日: 2002-12-10
公开(公告)号: CN1424775A 公开(公告)日: 2003-06-18
发明(设计)人: T·K·克拉克 申请(专利权)人: 伊斯曼柯达公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L51/40
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 肖春京,郑建晖
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种对准装置,用来将一个具有一些磁性掩模段的淀积掩模相对于衬底定位,以利于有机材料同时淀积到衬底上,衬底将是有机发光器件的一部分。
搜索关键词: 用于 生产 有机 发光二极管 器件 将多个掩模段 对准 提供 组装
【主权项】:
1.一种允许将具有多个掩模段的淀积掩模相对于衬底定位的对准装置,其易于使有机材料同时淀积到衬底上,衬底为有机发光器件的一个部分,此装置包括:(a)底座,它具有第一组对准销和一个第二组对准销;(b)一系列固定于底座上的相互隔开的平板块;(c)一个框架,它有一些与相互隔开的平板块对齐的开孔,该框架具有与该第一组对准销对应的第一组对准销接收孔,从而允许框架能围绕每一个平板块活动地安装在底座上;(d)框架上限定有一些十字条接收槽;(e)置于十字条接收槽中的磁性十字条;(f)多个置于平板上的磁性掩模段,用来确定淀积掩模,使得当框架被安装到底座上时,由磁性十字条产生的磁场将磁性掩模段的多个部分固定在框架上;(g)透明平板,它与第二组对准销和淀积掩模相接触,且其尺寸配置成让淀积掩模各段暴露在外。(h)用于将磁性掩模段固定于框架周边的装置。
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