[发明专利]电解镀铜的方法无效
申请号: | 02154219.8 | 申请日: | 2002-11-07 |
公开(公告)号: | CN1432666A | 公开(公告)日: | 2003-07-30 |
发明(设计)人: | 土田秀树;日下大;林慎二朗;塚越觉 | 申请(专利权)人: | 希普雷公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 郭建新 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种电解镀铜的方法,该方法适用于形成填充的通孔而不会损害沉积物的光亮度。在该方法中,在过渡金属氧化物的存在下进行镀铜。 | ||
搜索关键词: | 电解 镀铜 方法 | ||
【主权项】:
1、一种电解镀铜的方法,包括下列步骤:使待电镀的基材与含有过渡金属氧化物的电解镀铜浴接触,并且向电镀浴施加足够的电流密度,以在基材上沉积铜层。
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