[发明专利]腐蚀方法和腐蚀成形品、压电振动器件及其制造方法无效
| 申请号： | 02154225.2 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1434567A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊介;中田穗积 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/19 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在利用腐蚀度互为不同的多种掩模层R2、R3将石英晶片1各处形成掩蔽的状态，对该石英晶片1进行腐蚀处理。在利用腐蚀度高的掩模层形成掩蔽的部分，腐蚀工作早期开始，所以腐蚀量多。反之，在利用腐蚀度低的掩模层形成掩蔽的部分上，腐蚀工作的开始延迟，腐蚀量少。由此，可将石英晶片1形成任意的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 方法 成形 压电 振动 器件 及其 制造 | ||
【主权项】：
1、一种腐蚀方法，是将被成形物腐蚀成规定形状的腐蚀方法，其特征是在利用腐蚀度相互不同的多种掩模层将上述被成形物各处形成掩蔽的状态下，通过对该被成形物进行腐蚀处理，根据各掩模层各自的腐蚀度大小，被成形物各处的腐蚀量各自不同，将被成形物腐蚀成规定的形状。
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