[发明专利]环状锍和氧化锍及含有它们的光致酸生成剂和光刻胶无效
| 申请号： | 02154275.9 | 申请日： | 2002-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN1438543A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅隆;G·珀勒斯;铃木泰弘 | 申请（专利权）人： | 希普雷公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08L25/18;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了新的光致酸生成剂(PAG)和含有这类化合物的光刻胶组合物。特别提供了环状锍和氧化锍PAG。本发明的PAG特别用作在诸如248nm、193nm和157nm的短波长成像的光刻胶的光活性成分。 | ||
| 搜索关键词： | 环状 氧化 含有 它们 光致酸 生成 光刻 | ||
【主权项】：
1.光刻胶组合物，包括树脂和下式I的光致酸生成剂化合物：其中R是非氢取代基或R是键合另一个光致酸生成剂部分的链；Y和Z彼此独立地是氢或非氢取代基；或两个Y和/或Z一起形成一个稠环；n是3-8的整数；和X是反荷阴离子；排除Y和Z在相同的环碳原子上均为C1-4烷基。
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