[发明专利]表面检查装置无效
| 申请号： | 02154380.1 | 申请日： | 2002-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1424576A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 矶崎久;榎本芳幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社拓普康 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47;G01N21/21 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘宗杰,张志醒 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题是，在对基板表面照射激光光线、通过检测该激光光线的散射反射光来检测异物的表面检查装置中，包含具有发射激光光线的多个发光源的光源部和将来自该各发光源的激光光线照射到基板表面上的照射光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表面检查装置，它是对基板表面照射激光光线、通过检测该激光光线的散射反射光来检测异物的表面检查装置，其特征在于，包括：具有发射激光光线的多个发光源的光源部；以及将来自该各发光源的激光光线照射到基板表面上的照射光学系统。
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