[发明专利]涂覆硬质被膜工具有效
| 申请号： | 02154560.X | 申请日： | 2002-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1424434A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 久保田和幸;岛顺彦 | 申请（专利权）人： | 日立工具股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 范明娥,张平元 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的涂覆硬质被膜工具具有以下特征：在使B的细微氮化物粒子分散的TiB系硬质被膜涂覆的工具中，通过硬质被膜的ESCA分析可以确认B和N的结合能，通过硬质被膜的拉曼分光光度分析检测c－BN和/或h－BN，c－BN的峰值强度Q1和h－BN的峰值强度Q2之比Q1/Q2为1.0以上，X线衍射的(200)面的半值宽度Z在0.3°～0.6°的范围内，工具的前刀面的膜厚K和后刀面的膜厚L之比K/L为1.0以上，而且，上述硬质被膜具有高的硬度及润滑性，可以抑制与加工物的化学反应，耐月牙洼磨损性优良。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 工具 | ||
【主权项】：
1.涂覆硬质被膜工具，其特征在于，在涂覆由含有金属元素Ti及B的氮化物、碳氮化物、氧氮化物及氧碳氮化物的任一种构成的硬质被膜的工具中，上述硬质被膜含有B的氮化物相，由上述硬质被膜的ESCA分析可以确认B和N的结合能，而且由上述硬质被膜的拉曼分光光度分析可以确认c-BN和/或h-BN的存在。
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