[发明专利]157nm拉曼激光器无效
申请号: | 02155044.1 | 申请日: | 2002-12-20 |
公开(公告)号: | CN1421968A | 公开(公告)日: | 2003-06-04 |
发明(设计)人: | 楼祺洪;朱晓峥;周军;叶震寰;董景星;魏运荣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | H01S3/30 | 分类号: | H01S3/30 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种新型的高功率激光器可以产生157nm的深紫外激光。它由NdYAG激光器五倍频输出213nm激光,照射拉曼池中的氢气形成受激喇曼散射,获得反四阶斯托克斯光输出,其波长为157nm。与氟分子准分子激光器相比,本技术原理简单,实施路线清晰,而且成本低。 | ||
搜索关键词: | 157 nm 激光器 | ||
【主权项】:
1.一种157nm拉曼激光器,其特点在于包括泵浦源(1),拉曼池(2),分光棱镜(3),沿轴线OO’分布,该泵浦源(1)为五次谐波输出的Nd:YAG激光器,该拉曼池(2)由一个密封的不锈钢管(4)及其两端分别具有输入窗(5)和输出窗(6)组成,不锈钢管(4)内充有一定压力的拉曼介质(7)。
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