[发明专利]含巯基杂环化合物与碱金属碘化物的复配缓蚀剂无效
申请号: | 02155078.6 | 申请日: | 2002-12-20 |
公开(公告)号: | CN1424435A | 公开(公告)日: | 2003-06-18 |
发明(设计)人: | 张大全;周国定;高立新 | 申请(专利权)人: | 上海电力学院 |
主分类号: | C23F11/04 | 分类号: | C23F11/04;C23F11/16 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 周承泽 |
地址: | 200090 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 提供一种酸性介质中铜或铜合金的缓蚀剂,包含至少一种选自2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、1-苯基-5-巯基-四氮唑和2-巯基苯并噻唑的含巯基杂环化合物和碱金属碘化物,所述含巯基杂环化合物与碱金属碘化物的摩尔比在1∶10至16∶1范围。 | ||
搜索关键词: | 巯基 杂环化合物 碱金属 碘化物 复配缓蚀剂 | ||
【主权项】:
1.一种酸性介质中铜或铜合金的缓蚀剂,包含至少一种选自2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、1-苯基-5-巯基-四氮唑和2-巯基苯并噻唑的含巯基杂环化合物和碱金属碘化物,所述含巯基杂环化合物与碱金属碘化物的摩尔比在1∶10至16∶1范围。
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