[发明专利]微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置无效

专利信息
申请号: 02155430.7 申请日: 2002-12-13
公开(公告)号: CN1416307A 公开(公告)日: 2003-05-07
发明(设计)人: 阴生毅;陈光华 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H05H1/30 分类号: H05H1/30
代理公司: 北京工大思海专利代理有限责任公司 代理人: 张慧
地址: 100022 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置属于微波低温等离子体技术领域。其特征在于,使微波通过在位置上存在相互旋转180度关系的双三角形波导管产生两束微波,使这两束微波经过双三角形的波导管后直接通过微波窗片耦合进入谐振腔,并在谐振腔内进行叠加,形成一种新的双束微波场。为达到本方法的目的,所设计的装置特征是,在过渡矩形波导管6与陶瓷微波窗片8及窗片法兰9之间,接入了一段在矩形波导管内部插入均分板19后、形成的双三角形的波导管7,其横截面被分为了两个三角形。本发明不仅较好地解决了电子回旋共振设备等离子体不均匀性的问题,且制造安装简便,对等离子体无污染,避免了采用同轴波导和多槽天线带来的制造安装复杂等问题。
搜索关键词: 微波 电子 回旋 共振 等离子体 均匀 方法 装置
【主权项】:
1、微波电子回旋共振等离子体均匀化方法,包括有利用电子回旋共振系统中的微波源产生微波后,经波导管和波导窗导入谐振腔,在谐振腔和沉积室内产生电子回旋共振的等离子体,用于对样件进行薄膜沉积,本发明的特征在于,使微波通过在位置上存在相互旋转180度关系的双三角形波导管产生两束微波,使这两束微波经过双三角形的波导管后直接通过微波窗片耦合进入谐振腔,并在谐振腔内进行叠加,形成一种新的双束微波场。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学,未经北京工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/02155430.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top