[发明专利]研磨垫的制造方法无效
| 申请号： | 02155536.2 | 申请日： | 2002-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1504315A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 施文昌;张永忠;朱明癸;魏隆诚 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/00 | 分类号： | B29C45/00;H01L21/304;B24B7/00;B24B1/04;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 台湾省台中市西*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种研磨垫的制造方法，此方法首先提供一模具，接着在此模具内预埋入至少一条状物，其中条状物的断面形状包括多边形、圆弧形或不规则形。然后于此模具中注入一高分子发泡体，并待高分子发泡体硬化成型后，进行一脱模步骤，而取得一高分子成型物。最后移除或分解高分子成型物上的条状物，即形成具有至少一沟槽图案的一研磨垫。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种研磨垫的制造方法，其特征在于：包括：提供一模具，其中该模具具有一模腔；在该模具内预埋入至少一条状物，其中该至少一条状物的断面形状包括多边形、圆弧形或不规则形；于该模具的该模腔中注入一高分子发泡体，并待该高分子发泡体硬化成型；进行一脱模步骤，以取得一成型物；移除该成型物上的该条状物，以形成具有至少一沟槽图案的一研磨垫。
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