[发明专利]线上激光晶圆承座清洁装置

摘要

一种线上激光晶圆承座清洁装置，包含有一可朝x轴－y轴－z轴方向运动的晶圆平台；一晶圆承座固定于该晶圆平台上，该晶圆承座具有一受有机物污染的表面；一层流气密舱，将该晶圆承座与大气环境隔离；一准分子激光产生模组，一激光传送系统与一激光对准投影透镜系统，传送激光并将激光导向该晶圆承座，使该受污染表面的有机物分解成小分子；以及一惰性气体供应系统，提供一惰性气体，以将该分解小分子带离该晶圆承座的该受污染表面；其中该步进机台尚包含有一制程控制电脑，可控制受污染的晶圆承座表面进行线上全面或局部的激光清洁；本发明利用激光并结合电脑以去除晶圆承座表面的污染物，避免人为处理去污产生的种种疏失，简化平坦度监控的异常处理，减少待机时间以及确保系统环境不受污染。

主权项

1.一种具有线上激光晶圆承座清洁装置的步进机台，其特征是：该步进机台包含有：一准分子激光产生模组，产生一具有一固定波长的曝光脉冲激光；一可朝x轴-y轴-z轴方向水平及垂直运动的晶圆平台；一制程控制电脑，控制该晶圆平台的x轴方向位移量，以及y轴方向位移量，及z轴方向位移量；一晶圆承座，固定于该晶圆平台上，吸真空固定一待曝光晶圆，该晶圆承座具有一受有机物污染的表面；一激光传送系统，将该脉冲激光以一预定入射角度导向该晶圆承座的该受污染表面，并将该受污染表面的有机物分解成小分子；一激光对准投影透镜系统，对准该曝光脉冲激光至该待曝光晶圆的焦距；一层流气密舱，设置于该激光传送系统的一端，将该晶圆承座与大气环境隔离，其中该层流气密舱具有一气体进口以及一排放出口；以及一惰性气体供应系统，与该层流气密舱的该气体进口相连接，提供一惰性气体，且该惰性气体于该层流气密舱呈现层流状态，以将该分解小分子带离该晶圆承座的该受污染表面；其中该受有机物污染的晶圆承座表面，可经由该制程控制电脑的控制而线上进行全面或局部的激光清洁。