[发明专利]可缩短光掩模制造周期的光掩模供给系统

摘要

经由通信线路(500)从订货方计算机(300)发送含有针对光掩模图案的尺寸测长方法和掩模设计数据的规格数据。元件尺寸计算装置(100)，按照尺寸测长方法和掩模设计数据产生测长方案，向元件尺寸测长装置(200)发送。元件尺寸计算装置(100)根据测长数据和掩模设计数据，计算并导出图案的制造误差数据，经由通信线路向订货方发送。

主权项

1.一种向订货方供给光掩模的光掩模供给系统，设有以下装置：与所述订货方通信的通信装置，存储数据的存储装置，按照测长方案测定所制造的所述光掩模中的图案尺寸的测长装置，以及连接于所述通信装置和所述存储装置、并控制所述通信装置和所述存储装置的控制装置；所述控制装置包括：使经由所述通信装置接收含有对所述光掩模上形成的图案尺寸的测长方法和掩模设计数据的规格数据、并存入所述存储装置的操作得以实现的存储装置，按照所述测长方法和所述掩模设计数据产生所述测长方案的方案产生装置，从所述测长装置接收用所述测长装置实测的测长数据的装置，根据所述测长数据和所述掩模设计数据计算、导出所述图案的制造误差数据的计算装置，以及经由所述通信装置将所述制造误差数据向所述订货方发送的装置。