[发明专利]电磁驱动的光开关及其制作方法无效
| 申请号： | 02156053.6 | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1506705A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | 卢慧娟;李新立;张文阳;李政鸿 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;H04J14/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英;陈红 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是有关于一种电磁驱动的光开关及其制作方法，该开关包括有一悬臂(cantilever)，其上方设有一镜面，悬臂下方设有一磁膜，在其相对位置处有一平面线圈，线圈与磁膜共同组成一电磁驱动单元，配合悬臂上的一扭力杆，使得悬臂可进行如跷跷板般的运动，带动镜面上下移动作为光开关；本发明所公开的光开关是利用IC制作过程以微机电技术制造而成，首先在一第一基板上形成悬臂、扭力杆、磁膜与镜面，接着在一第二基板上形成上述之线圈，最后再由第一基板与第二基板上定位沟的精确对位结合，完成光开关的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 驱动 开关 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种电磁驱动的光开关，包括有：一悬臂，为一薄片状结构；一扭力杆，位于该悬臂较长端的两侧；一镜面，系形成于该悬臂上的一侧；一平面线圈，形成位于该外罩底部之凹槽内；以及一磁膜，是形成在该悬臂的下方，与该平面线圈成相对位置；其中，当平面线圈产生磁力吸引磁膜时，带动悬臂作垂直位移，使镜面阻断光束通过，在平面线圈磁力消失时，以扭力杆所产生的一恢复力将悬臂恢复至原来位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02156053.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光纤
- 下一篇：用于光学背板连接系统的无插芯光纤设备
