[发明专利]图形发生器有效
| 申请号： | 02156430.2 | 申请日： | 2002-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1508628A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 方光荣;张鹏;薛虹;商涛;林滢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;关玲 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种图形发生器，用于电子束、离子束等带电粒子的曝光机，属于曝光机的图形发生器硬件。本发明提供一种运算速度快、接口简单、功耗低、功能多样的曝光机用的图形发生器，它以高速数字信号处理器为核心，通过通用串行总线接口和上位机实现通讯，该图形发生器不仅可以满足以三角形，矩形和梯形为基本曝光单元图形的曝光格式，而且增加了圆及圆环为基本曝光单元图形，解决了集成光栅器件加工在速度和精度上存在的缺陷。本发明由接口电路、双端口存储器电路、数字信号处理器电路、数模转换电路、曝光/标记检测控制电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电路相互连接构成。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 发生器 | ||
【主权项】：
1.一种图形发生器，由接口电路[1]、双端口存储电路[2]、数字信号处理电路[3]、数模转换电路[4]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]构成，其特征在于，接口电路[1]分别与双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]连接，数字信号处理电路[3]分别与双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]连接，最终曝光数据寄存器单元[7]连接数模转换电路[4]。
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