[发明专利]采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器无效
| 申请号： | 02156594.5 | 申请日： | 2002-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1166933C | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 林江;何志刚;王世光 | 申请（专利权）人： | 林江;何志刚;王世光 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 毕志铭 |
| 地址： | 150030黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器，它涉及一种谐振式水晶压力传感器。它包含水平极化切变波的水晶压敏元件(1)、弹性的悬臂梁(6)、底座(10)、波纹片(15)、传力杆(8)，波纹片(15)安装在底座(10)下端的压力接口(10-1)外侧，悬臂梁(6)的一端与底座(10)固定连接，悬臂梁(6)的另一端与传力杆(8)的一端固定连接，传力杆(8)的另一端与波纹片(15)固定连接，两个水晶压敏元件(1)分别安装在悬臂梁(6)上，两个水晶压敏元件(1)分别经导线连接接线端子(3)。该传感器具有压力灵敏度高、分辨率好、温度稳定性优良、长期稳定性佳、对晶体加工表面要求不苛刻、耐灰尘、抗污染、过载能力强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 水平 极化 声波 模式 谐振 水晶 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器，它包含弹性的悬臂梁(6)、底座(10)、波纹片(15)、传力杆(8)，波纹片(15)安装在底座(10)下端的压力接口(10-1)外侧，悬臂梁(6)的一端与底座(10)固定连接，悬臂梁(6)的另一端与传力杆(8)的上端固定连接，传力杆(8)的下端与波纹片(15)固定连接，其特征在于它还包含水平极化切变波的水晶压敏元件(1)、两个水晶压敏元件(1)分别安装在悬臂梁(6)上，两个水晶压敏元件(1)分别经导线连接接线端子(3)，水晶压敏元件(1)由经研磨抛光的水晶片(1-1)和光刻在水晶片(1-1)上面的产生水平极化切变波的金属发射叉指换能器(1-2)和接收换能器(1-3)、降低插入损耗的能阱金属栅阵(1-4)、金属反射栅阵(1-5)和金属汇流条(1-7)组成，水晶片(1-1)的左右两边为刀刃形，水晶片(1-1)的切型是YZL(-48°～-51°)水晶切型。
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