[发明专利]一种热蒸发制备大面积薄膜的方法与装置无效
| 申请号： | 02157980.6 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1510159A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘震;周岳亮;朱亚彬;王淑芳;陈正豪;吕惠宾;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及热蒸发制备大面积薄膜的方法和装置。该方法包括：将蒸积靶材加工成所设计的形状放置于真空室内，固定在水冷电极上；然后先将真空室用真空机组抽真空到10－2－10－7Pa，直接加热靶材将基片加热到蒸积温度；再用充气装置将系统充以所需气体，并动态保持所需压强；当加热片通过电流达到蒸积温度后，靶材被蒸积出来，经靶管引导沉积在基片上沉积一定时间后，生长一定厚度成膜，由系统的温度由测温仪测量。该装置把导电靶材本身制成一定形状的平板，再使一个大电流流经此平板，大电流产生的热将靶材加热到所需的温度。本发明的薄膜面积大不易污染、性能优良、蒸积速率快其易控制的优点。该装置结构简单，易于加工，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 制备 大面积 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种热蒸发制备大面积薄膜的方法包括：将蒸积靶材制成的板状加热片固定在水冷电极上，然后先将真空室用真空机组抽空到10-2-10-7Pa，将基片加热到蒸积温度；再向真空室内充以所需气体，并动态保持所需压强；调节加热电源的输出功率和光栏的孔径以控制各个蒸发源速度比，当板状加热片通过电流达到蒸积温度后，靶材被蒸积出来，经板状加热片上方设置的靶管引导沉积在基片上，生长厚度由沉积时间决定，系统的温度由测温仪测量，并通过计算机控制。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02157980.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无铅合金镀锡铜线
- 下一篇：采用无接触加热的共蒸发工艺制备薄膜的方法和装置
- 同类专利
- 专利分类
