[发明专利]有机高分子－无机纳米复合电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种有机高分子—无机纳米复合电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法。它是以微晶玻璃为基片，其上布置多对叉指金电极，用浸涂机将微晶玻璃叉指金电极浸渍于感湿液中，采用浸涂方法制成湿度敏感膜，经热处理及交联处理后，制得有机高分子—无机纳米复合电阻型薄膜湿敏元件。其湿度敏感薄膜是由一种含硅的聚电解质与无机纳米湿敏材料复合形成的，且该薄膜借助热处理及交联作用与基底及金电极很好的粘合。该方法工艺简单，成本低，尤其适于批量生产。所制备的湿敏元件具有优良的耐水性。其响应线性度好，灵敏度高，响应迅速，抗结露，耐高湿环境能力强，尤其适于测定高湿环境湿度，可广泛应用于大气环境湿度的精确测量与控制。

主权项

1.一种有机高分子—无机纳米复合电阻型薄膜湿敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃基体(1)，在微晶玻璃基体表面上布置有叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃基体和叉指金电极上涂覆有感湿膜(3)。