[发明专利]光阻供应系统及方法有效
| 申请号： | 02158677.2 | 申请日： | 2002-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1508845A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘顺财 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光阻供应系统包含一储存槽以及一贮存器，且储存槽连接至贮存器。一真空泵连接至贮存器以于贮存器产生真空状态，用以吸取光阻由储存瓶流出并流入至贮存器。一进入贮存器的入口使光阻沿着贮存器的一内壁流动。此光阻流出贮存器并流入一配料贮存器，且此光阻被泵汲取至一配料喷嘴以应用于一晶圆或基底。 | ||
| 搜索关键词： | 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光阻供应系统，其特征在于：包括：一储存瓶，用以储存一光阻材料，该储存瓶具有一出口；一贮存器，该贮存器具有连接至该储存瓶的一贮存器入口；一真空泵，该真空泵连接至该贮存器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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