[发明专利]用于在印刷布线板上形成图案的曝光方法和装置无效
| 申请号： | 02159553.4 | 申请日： | 2002-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1428656A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 关川和成;赤川雅俊 | 申请（专利权）人： | 新光电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 李峥,于静 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光学曝光方法和装置，用于在印刷布线板或半导体板上形成图案。以具有不同照射面积和不同扫描速度的多个光束照射要被曝光的表面的单个曝光区，例如，以具有较小照射面积的光束照射外围区，而以具有较大照射面积的光束照射内部区。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 印刷 布线 形成 图案 曝光 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学曝光方法，用于在诸如布线板或半导体板之类的工件的表面上形成图案，所述方法包含如下步骤：分别以多个光束照射要被曝光的表面的单个曝光区，这些光束有不同的照射面积和不同的扫描速度。
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