[发明专利]风机－过滤机组风量反馈控制方法与装置有效
| 申请号： | 02159656.5 | 申请日： | 2002-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1512075A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 郑名山;胡铭道;陈俊杰;杨国祥 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种风机－过滤机组风量反馈控制方法与装置，可应用在半导体制造工厂的无尘车间的风机－过滤机组上，用以控制该风机－过滤机组恒定地保持在一预设的固定送风量。此风机－过滤机组风量反馈控制方法与装置的特点在于以送风量为反馈控制参数，而不是如现有技术那样以马达转速为反馈控制参数，因此可控制风机－过滤机组恒定地保持在预设的固定送风量。此风机－过滤机组风量反馈控制方法与装置因此比现有技术具有更佳的进步性及实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 风机 过滤 机组 风量 反馈 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种风机-过滤机组风量反馈控制方法，其特征在于，该控制方法包括下列步骤：(1)测量该风机-过滤机组的进气端和出气端之间的气压差；(2)依据上述气压差，求出该气压差所对应的风量值；(3)将上述的风量值与该预设的固定风量值做一比较，并据此产生一风量差值信号；以及(4)利用上述的风量差值信号，调整该风机-过滤机组的风扇转速，借此调整该风机-过滤机组的送风量；并进而再以该风机-过滤机组的送风量所导致的气压差为反馈控制参数，直至该风机-过滤机组的送风量大致等于该预设的固定风量值为止。
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