[发明专利]一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法无效

专利信息
申请号: 02159702.2 申请日: 2002-12-30
公开(公告)号: CN1512119A 公开(公告)日: 2004-07-14
发明(设计)人: 高汉三;江希年;葛洪川 申请(专利权)人: 北京欧科能太阳能技术有限公司
主分类号: F24J2/48 分类号: F24J2/48
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 党晓林
地址: 100083北京市海滨区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法,该涂层由基底层Cu镜面反射膜、中间层AlNxOy干涉吸收膜和表面层AlNxOyCz减反膜三层结构组成,具有可见一近红处光谱高吸收率、红外光谱极低发射率和真空烘烤热稳定性,适用于中温(100-300℃)工作温度真空使用环境的全玻璃真空管和热管式真空管等应用领域,使该类太阳能真空集热管具有更低热损,更高热效率的优异特性,该涂层的制备采用三靶直流磁控溅射,镀膜反应气体由氮、氧、甲烷、乙炔等调控,溅射工况稳定,重复性好,适于全玻璃真空管和热管式真空管等生产性制备。
搜索关键词: 一种 太阳能 选择性 吸收 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种太阳能选择性吸收涂层,由三层薄膜结构组成,其特征在于,基底层为Cu镜面反射膜,中间层为ALNxOy干涉吸收膜,表面层为ALNxOyCz减反膜。
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