[发明专利]制作高温超导器件的表面改性方法无效
| 申请号： | 02159935.1 | 申请日： | 2002-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1512602A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 韩征和;王三胜;吴铠;刘梦林 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 制作高温超导器件的表面改性方法属于超导器件制作技术领域，其特征在于：用于增加材料表面平整度、改变被加工材料的组织结构如织构或内部缺陷的载能粒子束的能量为5－50000eV，较好的是5－10000eV，入射角为5－85度。有时，为得到所需的超导性能，还要对轰击后的样品退火，退火温度在(100－1500)℃之间。本发明可提高被加工材料表面的平整度，减少表面缺陷，改变材料的组织结构，从而提高整个器件的超导性能。被轰击的材料包括在超导器件制作过程中的基底、过渡层、超导层以及它们的任意组合。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 高温 超导 器件 表面 改性 方法 | ||
【主权项】：
1、制作高温超导器件的表面改性方法，含有采用载能粒子束轰击预先形成的材料表面的步骤，其特征在于：用于增加材料表面的平整度，改变被加工材料的组织结构的载能粒子束能量在5-50000eV，入射角在5-85度。
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