[发明专利]识别器件传送系统的工作高度的装置和方法无效

专利信息
申请号: 02160030.9 申请日: 2002-12-30
公开(公告)号: CN1444262A 公开(公告)日: 2003-09-24
发明(设计)人: 黄炫周 申请(专利权)人: 未来产业株式会社
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 余刚
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开了一种半导体器件测试处理机中识别器件传送系统的工作高度的装置和方法,其利用一种结构简单的装置,能够快速、精确地测量并重新设定半导体器件传送系统的工作高度。一拾取并传送半导体器件的器件传送系统安装在一处理机本体上可水平和垂直移动,并具有多个用来吸取半导体器件的拾取器,本发明包括一安装在器件传送系统一侧并可上下移动的提升块,一与提升块垂直安装并根据与下方目标物的接触而上下移动的接触探头,一用来检测接触探头升高的检测装置,以及一用来驱动提升块上下移动的驱动装置。
搜索关键词: 识别 器件 传送 系统 工作 高度 装置 方法
【主权项】:
1.一种半导体器件测试处理机中识别器件传送系统的工作高度的装置,所述器件传送系统具有多个能在水平和垂直方向上移动的拾取器,并能依据收到的处理机控制单元的指令,在托盘与成套部件之间传送器件,其特征在于,所述装置包括:一安装在所述器件传送系统的一侧并能上下移动的提升块;一与所述提升块相垂直地安装并能根据与下方目标物的接触而上下移动的接触探头;一通过所述接触探头与所述目标物之间的接触检测所述接触探头的升高的检测装置;以及一驱动所述提升块上下移动的驱动装置。
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