[发明专利]薄膜沉积装置有效
| 申请号： | 02160220.4 | 申请日： | 2002-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1424427A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | 金昌男 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于将薄膜沉积到显示面板上的薄膜沉积装置，此装置包括一沉积源，位于该沉积源的一表面上的凹槽中储存有将要沉积在面板上的薄膜材料，一个用于加热沉积源使得薄膜材料升华的加热器，和一个装载在沉积源上以覆盖沉积源中的凹槽的蒙罩，该蒙罩具有多个孔以调节沉积在面板上的薄膜材料的沉积量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在显示面板上沉积薄膜的薄膜沉积装置，此用于沉积薄膜的装置，包括：一在其表面具有凹槽的沉积源，沉积源中的该凹槽储存有将要沉积在面板上的薄膜材料；一用于加热沉积源的加热器，其使得薄膜材料升华；和一装载在沉积源上以覆盖沉积源中的凹槽的蒙罩，该蒙罩具有多个孔以调节沉积在面板上的薄膜材料的沉积量。
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