[发明专利]激光束括束用的系统和方法有效
| 申请号： | 02160297.2 | 申请日： | 2002-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1434319A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·特萨考耶尼斯;沃尔特·奥古斯汀 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;H01S3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光束扩束用的方法和系统。一种照明系统包括一水平反射的多路复用器和一垂直反射的多路复用器。该水平反射的多路复用器沿着第一尺寸复制该输入光束，从而形成第一多路复用光束。该垂直反射的多路复用器沿第二尺寸复制该第一多路复用光束，从而形成第二多路复用光束。在一个例子中，该水平反射的多路复用器包括一第一分束器、第二分束器和反射镜。该垂直反射的多路复用器包括一分束器和反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 括束用 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光束扩束用的系统，包括：一水平反射的多路复用器，和一垂直反射的的多路复用器；其中所述水平反射的多路复用器沿着第一尺寸复制一输入光束，从而形成第一多路复用光束；且所述垂直反射的多路复用器沿着第二尺寸复制所述第一多路复用光束，从而形成第二多路复用光束。
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