[实用新型]多节立式开合真空溅射离子镀炉

摘要

本实用新型公开了一种多节立式开合真空溅射离子镀炉,它由炉体底座、炉体、上盖三部分组成,整体为圆形,底座和炉体右扇第一节的下连接法兰连接,上连接法兰和第二节连接,多节相连增高,炉体左扇和右扇相对应,由开合油缸和轨道车控制开合,缝隙间有耐高温密封垫进行密封紧固,上盖上装有悬挂自动定位球体,靶芯固定支架螺帽,自动定位靶芯固定不动,球座带动悬挂吊筒、拉筋、吊盘和加工工件转动,该炉的特征在于在磁控溅射离子镀全部工艺不变,保证质量的情况下不需增高厂房对大口径,超长度加工件进行离子镀、渗碳、渗钛等多种工艺加工,节省巨大资金,有利于保护炉内各种电器元件和设施,便于清炉,便于装炉、出炉。

主权项

1.一种多节立式开合真空溅射离子镀炉，在炉体底盘上装有立式开合炉体右扇和可以开合的立式开合的炉体左扇及上盖，其特征是：炉体底盘(18)为圆形，其下有炉体支架(19)，连结螺栓(21)将立式开合炉体右扇(11)的第一节和炉体底盘(18)连接，立式开合炉体右扇(11)的第二节和第一节的上连接法兰通过紧固螺孔(20)用紧固件相连接，立式开合炉体左扇(12)和立式开合炉体右扇(11)相同相对应，开合油缸(15)，开合轨道车(16)控制立式开合炉体左扇(12)的开合，通过左、右两扇上两侧的合炉密封板(22)上的数个紧固螺孔(27)用紧固螺栓密封，上盖(1)上安装悬挂自动定位球体(2)、靶芯固定支架螺帽(9)将靶芯(7)固定在加工工件(8)内，悬挂吊筒(4)拧固在悬挂自动定位球体(2)上，球座(3)在齿圈(25)、转动齿轮(30)的作用下绕球底轨道(23)转动，带动加工工件(8)在炉体内绕靶芯(7)转动。