[实用新型]控制高温结晶炉内熔硅结晶速度的水冷却装置无效
| 申请号： | 02217259.9 | 申请日： | 2002-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN2592657Y | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 昌金铭;唐骏;吴建荣 | 申请（专利权）人： | 中国科技开发院浙江分院 |
| 主分类号： | C30B9/04 | 分类号： | C30B9/04 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人： | 陈向群 |
| 地址： | 310012 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于工业高温炉的循环水冷却技术领域，特别是涉及一种控制高温结晶炉内熔硅结晶速度的水冷却装置；它包括单循环水冷却装置和制冷机构，所述单循环水冷却装置由冷却塔、水箱、冷却水分配器、泵和冷却连接管构成，所述冷却水分配器的输出接口和回水接口上设有能与高温结晶炉相连接的冷却连接管，其特征在于所述制冷机构的冷却连接管与坩埚托架相连通。本实用新型能对坩埚和托架部位的温度进行调节，并能在坩埚和托架部位建立稳定的温度场，而且其结构简单、设计合理、使用方便、并具有降低能耗和提高多晶硅锭品质的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 高温 结晶 炉内熔硅 速度 水冷 装置 | ||
【主权项】：
1.一种控制高温结晶炉内熔硅结晶速度的水冷却装置，它包括单循环水冷却装置和制冷机构，所述单循环水冷却装置由冷却塔(1)、水箱(2)、冷却水分配器(4)、泵(3)和冷却连接管(8)构成，所述冷却水分配器(4)的输出接口(404)和回水接口(403)上设有能与高温结晶炉(7)相连接的冷却连接管(8)，其特征在于所述制冷机构的冷却连接管(8)与坩埚托架(5)相连。
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