[实用新型]分立双室离子镀膜机无效
| 申请号： | 02219249.2 | 申请日： | 2002-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN2542681Y | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 徐惠生 | 申请（专利权）人： | 徐惠生 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种离子镀膜装置，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换交替工作。与同等生产效率的单室离子镀膜机相比，其制造成本低20－30％，镀膜制品的生产成本下降50％多且质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 分立 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1、分立双室离子镀膜机，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽真空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换。
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