[实用新型]双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器

摘要

本实用新型涉及的是一种是由硅压力芯体和外部接口封装的采用双面冲油双面膜片结构的硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体，属于仪表测量技术领域。结构主要由差压主体和焊环、膜片、硅油、芯片、瓷片、引脚、金丝、玻璃绝缘子、“O”型密封圈组成，其中差压主体和引脚通过玻璃绝缘子烧结一起，玻璃绝缘子起绝缘作用，瓷片和差压主体通过胶粘接一起，芯片和瓷片粘接一起，芯片和引脚由金丝通过超声焊接一起，焊环、膜片和差压主体通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油。本实用新型的优点两端都可以测量液体，防腐性能强、差压测量精确度高，稳定性能好。

主权项

1、双面冲油、膜片结构的硅压阻式压力传感器，其特征是由差压主体(1)和焊环(2)、膜片(3)、硅油(4)、芯片(5)、瓷片(6)、引脚(7)、金丝(8)、玻璃绝缘子(9)、“O”型密封圈(10)组成，其中差压主体(1)和引脚(7)通过玻璃绝缘子(9)烧结一起，瓷片(6)和差压主体(1)通过胶粘接一起，芯片(5)和瓷片(6)粘接一起，芯片(5)和引脚(7)由金丝(8)通过超声焊接一起，焊环(2)、膜片(3)和差压主体(1)通过激光焊接一起，腔体内部充满硅油(4)。