[实用新型]一种原子束源系统无效
| 申请号： | 02221528.X | 申请日： | 2002-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN2530421Y | 公开（公告）日： | 2003-01-08 |
| 发明（设计）人： | 高洪涛;陈旭南;李展;陈元培 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | H05H3/02 | 分类号： | H05H3/02 |
| 代理公司： | 成都信博专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张一红,王庆理 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种可以制作纳米结构的原子束源系统。该系统由供气系统、亚稳态氦原子束发生室、斩波器、激光准直系统等组成，利用供气系统提供的氦气生成亚稳态氦原子束，通过斩波器、激光准直系统等压缩原子束的纵横向速度及其速度分布，减小其发散角，提高亚稳态氦原子束的单色性，形成准单色亚稳态氦原子束。本实用新型产生的原子束单色性好，适合在纳米加工技术领域及其它对亚稳态氦原子束的单色性要求较高的技术领域中应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 系统 | ||
【主权项】：
1、一种准单色亚稳态氦原子束源系统，包括供气系统(8)、亚稳态氦原子束发生室(1)、漏勺(3)、斩波器(4)、激光准直系统(5)；其特征在于：提供氦气的供气系统(8)与提供亚稳态氦原子束的发生室(1)连接在一起，亚稳态氦原子束发生室(1)的喷嘴(2)与漏勺(3)相连，漏勺(3)的出口对准提高亚稳态氦原子束单色性的斩波器(4)以及激光准直系统(5)。
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