[实用新型]光学非球面面形测试仪

摘要

本实用新型公开了一种光学非球面面形测试仪，它通过光学系统将相移横向剪切干涉条纹图送达CCD相机靶面，由CCD相机靶面将照在其上的光信号转化为电信号，形成视频信号，通过图象采集卡可以得到剪切干涉条纹图，然后利用计算机控制高压放大器驱动压电陶瓷的伸缩，从而移动相移直角棱镜，在干涉场得到一系列位相变化的剪切干涉条纹图，这时用计算机和图象采集卡采集这些剪切干涉条纹图的图象数据，存储在计算机中，留待以后处理。本实用新型可以对二次非球面和任意高次曲面进行一维、二维的采集与数据处理，得到被测非球面度。测量速度快，测量精度高。

主权项

1、一种光学非球面面形测试仪，包括光学系统[17]、监视器[18]和监视器[19]、显视器[24]、高压放大器[22]、计算机[23]、D/A接口[21]和图像采集卡[20]，监视器[18]和监视器[19]、显视器[24]、高压放大器[22]、计算机[23]之间采用信号线联接，计算机[23]、D/A接口[21]与图像采集卡[20]通过计算机插口联接，其特征在于：光学系统[17]包括氦氖激光器[1]，在氦氖激光器[1]的发射端依次设置有减光器[16]和反射镜[2]，在反射镜[2]的光路中依次设置有扩束镜[3]和分束立方棱镜[4]，分束立方棱镜[4]的反射光路中依次设置有分束立方棱镜[6]和标准透镜[7]，被测镜[8]放置在标准透镜[7]的后面，分束立方棱镜[6]的反射光路中设置有反射镜[13]，经反射镜[13]反射的光再透过分束立方棱镜[6]射入分束立方棱镜[6]另一端与监视器[18]相连接的CCD摄像机[14]上，经被测镜[8]反射回来又透过分束立方棱镜[4]的光路中依次设置有剪切立方棱镜[5]、玻璃平板[12]和剪切直角棱镜[10]，在剪切立方棱镜[5]的反射光路中依次设置有相移直角棱镜[9]和与高压放大器[22]相连接的压电陶瓷[11]，且相移直角棱镜[9]与压电陶瓷[11]相连，剪切立方棱镜[5]的出射光路中设置有与监视器[19]相连接的CCD摄像机[15]。