[实用新型]顶梢支持座

摘要

本实用新型提供一种顶梢支持座。该顶梢支持座是用以容纳一顶梢，当进行一晶圆的薄膜沉积制程的加热处理时，该顶梢系用以承载该晶圆。该顶梢支持座具有一中空圆柱状的本体以及一圆形底座，该顶梢是插入于该本体中，并且在该本体上开设有一透槽，该透槽是自该本体的顶梢插入端延伸至该本体的中央部分，以防止该顶梢支持座在反覆加热处理过程中，因热胀冷缩的效应而发生断裂损坏。

主权项

1、一种顶梢支持座，适用于一晶圆沉积装置的加热器中，并设置在一固定板之上，该顶梢支持座系用以容纳一顶梢，当进行一晶圆的薄膜沉积制程的加热处理时，该顶梢系用以承载该晶圆，并依固定板的上下移动而移动，以达成降下及抬起该晶圆的目的，其特征在于：该顶梢支持座具有一中空圆柱状的本体以及一圆形底座，该顶梢系插入于该本体之中，并且在该本体上开设有一用以防止该顶梢支持座于薄膜沉积制程的反覆加热处理过程中，因热胀冷缩的效应而发生断裂损坏的透槽，且该透槽是自该本体的顶梢插入端延伸至该本体的中央部份。