[实用新型]一种宽量程氦质谱检漏仪

摘要

本实用新型涉及一种宽量程氦质谱检漏仪，它由质谱室1、分子泵13、机械泵6、微漏气流通路检漏阀9、中漏气流通路检漏阀5、大漏气流通路检漏阀12、真空计8、4及电子控制系统组成，其特征在于分子泵13有两个抽气口2、3，上抽气口2与微漏气流通路的检漏阀9相连，下抽气口3与中漏气流通路的检漏阀5相连，大漏气流通路的检漏阀12与微漏气流通路的检漏阀9旁通或大漏气流通路的检漏阀12与中漏气流通路的检漏阀5旁通。其中所述的电子控制系统由电源模块，离子源供电模块，发射电流稳定模块，数据采集及灯丝保护模块，离子流放大模块，量程转换模块，显示报警模块组成。

主权项

1.一种宽量程氦质谱检漏仪，由质谱室(1)、分子泵(13)、机械泵(6)、微漏气流通路检漏阀(9)、中漏气流通路检漏阀(5)、大漏气流通路检漏阀(12)、真空计(8)(4)及电子控制系统组成，其特征在于分子泵(13)有两个抽气口(2)(3)，上抽气口(2)与微漏气流通路的检漏阀(9)相连，下抽气口(3)与中漏气流通路的检漏阀(5)相连，大漏气流通路的检漏阀(12)与微漏气流通路的检漏阀(9)旁通或大漏气流通路的检漏阀(12)与中漏气流通路的检漏阀(5)旁通。