[实用新型]一种立式多层陶瓷薄膜沉积装置

摘要

本实用新型公开了大型数控立式多层陶瓷薄膜沉积装置，主要由上封头、沉积室中段、下封头，以及设置在主机柜内的升降机、罗茨泵、机械泵，其中在主机柜的上部设置有沉积室中段，沉积室中段带有上封头和下封头，在上封头和下封头内部分别设有上层上极板和下层下极板，在沉积室中段内部分别与上层上极板和下层下极板对应设有上层下极板和下层上极板，在沉积室中段上设有观察窗。下封头的底部通过蝶阀和管道连接有罗茨泵和机械泵。立式多层沉积室的设计，能较好的解决立式钟罩沉积装置加工面积小的问题，采用同直径法兰密封的立式多层设备，其加工量可达到原立式钟罩设备加工面积的1倍至数倍，便于大规模产业化生产。

主权项

1.一种立式多层陶瓷薄膜沉积装置，包括上封头(1)、沉积室中段(14)、下封头(15)，以及设置在主机柜(13)内的升降机(8)、罗茨泵(10)、机械泵(11)，其特征是：在所述的主机柜(13)的上部设置有沉积室中段(14)，沉积室中段(14)带有上封头(1)和下封头(15)，在上封头(1)和下封头(15)内部分别设有上层上极板(2)和下层下极板(7)，在沉积室中段(14)内部分别与上层上极板(2)和下层下极板(7)对应设有上层下极板(4)和下层上极板(5)，在沉积室中段(14)上设有观察窗(6)，所述的下封头(15)的底部通过蝶阀(9)和管道连接有罗茨泵(10)和机械泵(11)。