[实用新型]金刚石膜气体检测传感器无效
| 申请号： | 02244312.6 | 申请日： | 2002-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN2566267Y | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种包含金刚石膜/纳米金刚石膜，用于检测气体的传感器。该传感器包括：衬底、在衬底的一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属电极，Au丝测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。本实用新型的金刚石膜/纳米金刚石膜气体传感器具有高选择性，高灵敏度，快速的响应与恢复，良好的一致性及耐高温和抗辐射等高稳定性的优点，同时具有工艺简单，便于集成化的特点，因而适于大批量、低成本生产。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 气体 检测 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测气体的传感器，包括：衬底、在衬底的一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属测量电极，Au丝测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。
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