[实用新型]镀膜设备无效
| 申请号： | 02252507.6 | 申请日： | 2002-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN2573508Y | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅,文琦 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备，包括一马达、一第一齿轮、至少二第二齿轮、至少二基板承载座、一隔板以及一镀材源，其中，第一齿轮轴设于马达的轴心，各第二齿轮分别与第一齿轮啮合，各基板承载座则分别轴设于各第二齿轮的轴心，隔板设于该等第二齿轮与该等基板承载座之间，且隔板的一侧面至少设有二遮板支架，各遮板支架的一端部固设于隔板，其另一端部朝基板承载座的设置方向延设，而镀材源与这些基板承载座相对而设。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，包含：一马达；一第一齿轮，其轴设于该马达的轴心；至少二第二齿轮，其分别与该第一齿轮啮合；至少二基板承载座，其分别轴设于各第二齿轮的轴心；一隔板，其设于该等第二齿轮与该等基板承载座之间，且该隔板的一侧面至少设有二遮板支架，各遮板支架的一端部固设于该隔板，且其另一端部朝该基板承载座的设置方向延设；以及一镀材源，其与该等基板承载座相对而设。
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