[实用新型]探头部件无效
| 申请号： | 02254288.4 | 申请日： | 2002-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN2634485Y | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 寺田佳树;泽田修一;服部敦夫 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种固定在探头装置上，用于测试试验体功能的探头部件。该探头部件包括：一个基片；用光刻法在所述基片上形成的探头针，所述探头针的远端，从所述基片上突出出来，与试验体的电极接触；和用光刻法，在所述基片上，相对于所述探头针的一个预先确定的位置上形成的一个定位件，所述定位件紧靠着一个使所述基片相对于探头装置定位的零件。 | ||
| 搜索关键词： | 探头 部件 | ||
【主权项】：
1.一种固定在探头装置上用于测试试验体功能的探头部件，其特征在于，该探头部件包括：一个基片；用光刻法在所述基片上形成的探头针，所述探头针的远端，从所述基片上突出出来，与试验体的电极接触；和用光刻法，在所述基片上，相对于所述探头针的一个预先确定的位置上形成的一个定位件，所述定位件紧靠着一个使所述基片相对于探头装置定位的零件。
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