[实用新型]常压射频冷等离子体发生器无效
申请号: | 02255097.6 | 申请日: | 2002-10-11 |
公开(公告)号: | CN2571127Y | 公开(公告)日: | 2003-09-03 |
发明(设计)人: | 申请(专利权)人: | ||
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24;H05H1/26;H05H1/32 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 李树明 |
地址: | 100088 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种常压射频冷等离子体发生器,包括一外壳,该外壳一端封闭,另一端设有喷口,其特征在于:于该外壳内设有内电极和中空的外电极,外电极包覆在该内电极外围,该内电极与射频电源连接,该外电极接地,该内电极与外电极之间位于外壳的封闭端处设有绝缘体,该内电极与外电极之间形成放电区间,该放电区间一端与该喷口相通,另一端与进气导管相通,该进气导管与供气源连通。本实用新型能在大气压下稳定工作产生低电压、大面积冷等离子体束流,从而为等离子体技术在清洗、杀菌、消毒等广泛领域的应用开辟了道路。 | ||
搜索关键词: | 常压 射频 等离子体 发生器 | ||
【主权项】:
1、一种常压射频冷等离子体发生器,包括一外壳,该外壳一端封闭,另一端设有喷口,其特征在于:于该外壳内设有内电极和中空的外电极,外电极包覆在该内电极外围,该内电极与射频电源连接,该外电极接地,该内电极与外电极之间位于外壳的封闭端处设有绝缘体,该内电极与外电极之间形成放电区间,该放电区间一端与该喷口相通,另一端与进气导管相通,该进气导管与供气源连通。
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