[实用新型]真空镀膜机循环装片装置无效
| 申请号： | 02260477.4 | 申请日： | 2002-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN2575113Y | 公开（公告）日： | 2003-09-24 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 314001 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽提装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的边侧有箱门，在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。将本实用新型用在镀膜机能上，可大幅降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 循环 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽取装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的正面为箱门，其特征在于在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。
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