[实用新型]扫描探针显微镜上的观察装置

摘要

一种扫描探针显微镜上的观察装置，包括由套在底座上不动立柱上的可动套筒内的压簧构成的粗调焦机构。置放可动投影物镜的外套与机壳活动连接构成的精调焦机构。在置放在可动套筒顶上且压在压簧上面的机壳内，置有由不动投影物镜和可动投影物镜构成的投影物镜组。光源的发光中心置于不动投影物镜的焦点上。不动投影物镜经半反半透分光板反射光束的焦点在普通显微物镜的物面上。本实用新型的观察装置符合扫描探针显微镜对观察显微镜的要求，具有较长的工作距离，较大的数值孔径，调焦机构简单，操作方便，能够准确方便地观察扫描探针显微镜头部上的探针针尖。

主权项

1.一种扫描探针显微镜上的观察装置，包括：底座(1)，置于底座(1)上有带探针针尖(1301)的扫描探针显微镜头部(13)；有机壳(7)，机壳(7)内置有光源(9)，置有普通显微物镜(8)以及接收面(601)置放在普通显微物镜(8)像面(o″)上的摄像头(6)；其特征在于：固定在底座(1)上有不动立柱(2)，在不动立柱(2)的顶端套有可动套筒(5)，在可动套筒(5)套进不动立柱(2)的部位上有螺孔(501)，在不动立柱(2)套进可动套筒(5)对着可动套筒(5)的螺孔(501)的部位上有凹陷的导向槽(201)，有缩紧螺钉(3)从可动套筒(5)的螺孔(501)内旋进伸到不动立柱(2)上的导向槽(201)内，可动套筒(5)内置有压簧(4)；所说的机壳(7)置于可动套筒(5)顶上压在压簧(4)上；在机壳(7)内有不动投影物镜(11)，光源(9)的发光中心(o)置于不动投影物镜(11)的焦点上，与不动投影物镜(11)构成投影物镜组的有可动投影物镜(1201)，可动投影物镜(1201)置于与机壳(7)活动连接的外套(12)内，可动投影物镜(1201)的焦点(o1)焦在扫描探针显微装置头部(13)上的探针针尖(1301)上；在光源(9)与不动投影物镜(11)之间，与不动投影物镜(11)和可动投影物镜(1201)的中心光轴(oo1)成45°角置放的中心点(o′)在中心光轴(oo1)上的半反半透分光板(10)；所说的普通显微物镜(8)的中心光轴(o′o″)穿过半反半透分光板(10)的中心点(o′)而垂直于不动投影物镜(11)和可动投影物镜(1201)的中心光轴(oo1)，不动投影物镜(11)经半反半透分光板(10)反射的焦点在普通显微物镜(8)的物面(A)上。