[实用新型]纳米精度位移与振动干涉测量装置

摘要

一种纳米精度位移与振动干涉测量装置，包括波长不相同的带有第一驱动电源和温度控制器的光源，调整光路准直用的准直光源和使被测物体产生振动的激振光源。光束传送的全光程都是在光纤、合波元件和光纤耦合器中进行。有两个光电转换元件响应波段只是对应光源发射光束的波段，对准直光源和激振光源发射的光束不响应。在第一驱动电源和模数转换器之间连接有控制初始相位的相位控制器。与在先技术相比，本实用新型具有结构紧凑、体积小、抗干扰能力增，消除了由于波长漂移带来的误差的优点，测量精度高。

主权项

1.一种纳米精度位移与振动干涉测量装置，包括带有第一驱动电源(2)的光源(3)和连接到计算机(11)上的模数转换器(10)，其特征在于由带有温度控制器(4)的光源(3)发射的光束通过第一段光纤(301)、隔离器(16)和第二段光纤(302)，由第一合波元件(7)的第二端口(b)射入，从第一合波元件(7)的第三端口(c)射出后，同样再通过第三段光纤(303)，由耦合器(8)的第一端口(P1)射入，从耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，经过第四段光纤(304)由第二合波元件(15)的第一端口(d)射入，从第二合波元件(15)的第三端口(f)射出后，再经过第五段光纤(305)和准直器(17)后，透过部分反射元件(18)射到被测物体(19)上；由带有第二驱动电源(5)的准直光源(6)发射的可见光通过第六段光纤(601)，从第一合波元件(7)的第一端口(a)入射，从第一合波元件(7)的第三端口(c)出射后，再经过第三段光纤(303)由耦合器(8)的第一端口(P1)射入，从耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，经过第四段光纤(304)由第二合波元件(15)的第一端口(d)射入，从第二合波元件(15)的第三端口(f)射出后，再经过第五段光纤(305)和准直器(17)后，透过部分反射元件(18)射到被测物体(19)上；带有第三驱动电源(13)的激振光源(14)发射的光束通过第七段光纤(1401)，由第二合波元件(15)的第二端口(e)入射，从第二合波元件(15)的第三端口(f)射出后，再经过第五段光纤(305)和准直器(17)后，透过部分反射元件(18)射到被测物体(19)上；由耦合器(8)的第二端口(P2)出射的光束通过第八段光纤(801)射到第一光电转换元件(9)上；由耦合器(8)的第四端口(P4)出射的光束通过第九段光纤(802)射到第二光电转换元件(12)上；第一光电转换元件(9)和第二光电转换元件(12)的输出同时连接到模数转换器(10)上；在第一驱动电源(2)与模数转换器(10)之间连接有相位控制器(1)。