[实用新型]速率闭环振梁式角速率传感器

摘要

一种通过振梁运动引起电容内静电电荷变化计算出运动角速率的速率闭环振梁式角速率传感器，其敏感器件为用钢丝悬吊在基座中的振梁及其控制电路，在振梁及基座的内壁有一一对应的电极片，构成了驱动电容C3、读出电容C2、阻尼电容C4、反馈运动信号电容C1及输出信号闭环伺服电容C5、C6、C7、C8，各电容是控制电路的组成部分。C3使振梁起振而C1通过闭环反馈使振梁维持在正常的工作预备状态，被测体的运动导致C2的电容量值变化使控制电路获得了运动状态的输出信号，输出信号的反馈实现了速率闭环，进一步稳定了振梁的工作状态、提高了信号线性度和输出的稳定。

主权项

1、一种速率闭环振梁式角速率传感器，在金属外壳内设置有敏感器件支架，敏感器件为安装在基座(4)中的振梁(1)及其控制电路，其特征是振梁为矩形截面立方柱振梁，基座为与振梁相匹配的立方箱体，振梁安装在基座内；在所述振梁的表面上制作有熔石英电极片(5、6、7、8)，在基座的内壁对应处也制作有熔石英电极片(9、10、11、12)；振梁借助支撑钢丝(2、3)悬吊在基座内，支撑丝安装在振梁的基波波节点(23、24)处。