[实用新型]一种振梁式角速率传感器

摘要

一种通过振梁运动引起电容内静电电荷变化计算出运动角速率的振梁式角速率传感器，其敏感器件为用钢丝悬吊在基座中的振梁及其控制电路，在立方柱状振梁的表面有电极片，基座的内壁也有一一对应的电极片，构成了驱动电容C3、读出电容C2、阻尼电容C4、运动信号电容C1，各电容是控制电路的组成部分。C3使振梁起振而C1则通过闭环反馈使振梁维持在正常的工作预备状态，被测体的运动导致C2的电容量值变化使控制电路获得了运动状态的输出信号。本实用新型重量轻、体积小、使用寿命长、可靠性高、全固态化，大幅度提高了整使用稳定性，比例系数在全温度范围内稳定性可达0.05％以上，零位漂移可小于0.006°/s/h。

主权项

1、一种振梁式角速率传感器，在金属外壳内设置有敏感器件支架，敏感器件为安装在基座(4)中的振梁(1)及其控制电路，其特征是振梁为矩形截面立方柱振梁，基座为与振梁相匹配的立方箱体，振梁安装在基座内；在所述振梁的表面上制作有熔石英电极片(5、6、7、8)，在基座的内壁对应处也制作有熔石英电极片(9、10、11、12)。