[实用新型]磁悬浮轴承式超精密微进给机构无效
| 申请号： | 02275054.1 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN2645340Y | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 宋文荣;何惠阳;于国飞;王延风;查明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00;H02K41/02;F16C32/04 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁悬浮轴承式超精密微进给机构。包括轴杆支撑1、直线电机初级2、微进给平台3、轴杆4、机构底座5、直线电机次级6、磁悬浮轴承7、初级底座8、计算机9、电机功率放大器10、磁悬浮轴承功率放大器11，采用磁悬浮和直线电机实现零传动，减少了中间传动环节简化结构，无摩擦磨损，对产品制作无环境污染，能长期保持机构精度、进给精度和延长使用寿命；减小了运动惯量节省动力，提高工作效率，缩短机构响应时间，提高响应频率；广泛应用于微电子、IT等产品制造领域的专用设备上，还将应用于航空航天、军工、医药、仪器仪表、生命科学以及基因工程等等众多高科技领域的科研、实验和产品生产加工等设备上，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 轴承 精密 进给 机构 | ||
【主权项】：
1、磁悬浮轴承式超精密微进给机构，包括微进给平台(3)、机构底座(5)、初级底座(8)，其特征在于还包括：轴杆支撑(1)、直线电机初级(2)、轴杆(4)、直线电机次级(6)、磁悬浮轴承(7)、计算机(9)、电机功率放大器(10)、磁悬浮轴承功率放大器(11)，轴杆支撑(1)固定联接在机构底座(5)上，轴杆(4)固定在轴杆支撑(1)上，磁悬浮轴承(7)套在轴杆(4)上，微进给平台(3)与四个磁悬浮轴承(7)固定联接，直线电机次级(6)固定安装在微进给平台(3)的正下方，直线电机初级(2)安装在初级底座(8)中，并且直线电机次级(6)与直线电机初级(2)保持0.3～0.5mm的间隙，四只磁悬浮轴承(7)的控制信号线均连接到磁悬浮轴承功率放大器(11)的输入端，直线电机次极(6)的控制信号线与电机功率放大器(10)的输入端连接，电机功率放大器(10)和磁悬浮轴承功率放大器(11)分别与计算机(9)的信号输入端相连。
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